ノリタケ、半導体工場向けPFAS除去装置を開発 2026年度中に販売予定

陶磁器・産業機械メーカーのノリタケが、半導体工場向けのPFAS（有機フッ素化合物）除去装置を開発したことが明らかになりました。同社は2026年度中の販売を予定しているとみられます。半導体生産が世界で急増する中、工場から排出される環境汚染物質を適切に処理する装置として位置づけられています。

PFASは半導体製造工程のうち、ウエハーに回路を形成するリソグラフィー工程やエッチング工程などで使用される化学物質です。分解されにくく環境や人体への影響が懸念されることから、各国で規制の動きが強まっており、半導体工場から排出される際の除去技術は業界全体の課題となっています。

PFAS除去技術として現在主流となっているのは活性炭による吸着方式です。これに対し、ノリタケが採用したのはイオン交換樹脂を使う方式です。イオン交換樹脂はPFASを吸着させた後に剥がすことができるため、樹脂そのものを繰り返し利用できる特徴があります。

この方式には廃棄物の削減という利点もあります。ノリタケの装置はPFASを装置内で濃縮して回収できるため、処理・廃棄が必要となる液量を低減できるとしています。加えて活性炭を使用しないことから、廃棄物量そのものの削減や、焼却処理時に発生するCO2排出量の削減にも貢献するとされています。

半導体生産を支える環境装置の分野では、日本メーカーが先行して技術開発を進めている状況です。ノリタケのほか、排水処理技術を持つ栗田工業もPFAS対応製品の開発に動いているとみられ、半導体工場の環境負荷対策をめぐって国内メーカー間での技術競争が広がりつつあります。

世界的な半導体需要の拡大に伴い、工場から排出されるPFASへの対応は今後さらに重要性を増していくとみられます。ノリタケが2026年度中に予定する販売開始を経て、実際の導入がどこまで広がるか、また活性炭方式との市場でのすみ分けがどのように進むかが今後の注目点となりそうです。